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J-GLOBAL ID：200902280317247650   Reference number：08A0312491

酸化物半導体厚膜を用いたTVOCセンサの開発

Author (5)： KADOSAKI MASAHIRO (富山県工技セ) ,  SAKAI YUICHI (富山県工技セ) ,  TAMURA IKUO (富山県工技セ) ,  MATSUBARA ICHIRO (産業技術総合研) ,  ITO TOSHIO (産業技術総合研)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 128  Issue： 4  Page： 125-130  Publication year： Apr. 01, 2008 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *gas sensor ,  *semiconductor ,  *thick film ,  ventilation (air conditioning) ,  *micro circuit ,  hypersensitivity ,  health hazard ,  tungsten oxide ,  tin oxide ,  indium oxide ,  zinc oxide ,  sick house syndrome ,  *volatile organic compound ,  *sensor chip ,  *oxide semiconductor ,  total volatile organic compounds
Semi thesaurus term： *volatile organic compound ,  Total Volatile Organic Compounds

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Other solid-state devices  (NC03150A)

Reference (13)：

• 角崎雅博. 室内空気汚染に対して高感度な酸化物半導体材料の探索. 電学論. 1999, 119, 7, 383-389
• 光明理化学工業 (株). 有害ガス測定ハンドブック. 1994, 243-261
• KADOSAKI, M. Development of SnO_2-based Gas Sensors for Detection of Volatile Organic Compounds. Trans. IEE of Japan. 2001, 121, 395-401
• 角崎雅博. シックハウス症対策等へのVOCセンサの開発. セラミックス. 2003, 38, 6, 439-443
• 玉置純. 酸化インジウム系ガスセンサの有機塩素化合物に対する検知特性. Chemical Sensors, Supplement B. 2003, 19, 214-216

Terms in the title (4)： 酸化物半導体 ,  厚膜 ,  TVOC ,  開発