Art

J-GLOBAL ID：200902283628611088   Reference number：09A0060405

Improvement of Temperature Coefficient of Capacitance in Y5V Film Capacitor Prepared by Pulsed Laser Deposition

パルスレーザ蒸着によって作成したY5V膜コンデンサにおける静電容量の温度係数の改良

Author (5)： HINO Takanori (Niihama National Coll. Technol., Ehime, JPN) ,  MATSUMOTO Noriyuki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAHASHI Tomoshi (Niihama National Coll. Technol., Ehime, JPN) ,  NISHIDA Minoru (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  ARAKI Takao (Ehime Univ., Ehime, JPN)
Material： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
Volume： 45  Issue： 6  Page： 229-235  Publication year： Dec. 20, 2008 
JST Material Number： G0788A  ISSN： 1347-4774  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser deposition ,  pulsed laser irradiation ,  *electrostatic capacity ,  temperature dependence ,  excimer laser ,  sintering ,  *thin film condenser ,  substrate(plate) ,  strontium titanate ,  *solid solution ,  perovskite type crystal ,  *barium titanate ,  *zirconate ,  barium compound
Semi thesaurus term： balium zirconate

JST classification (2)： LCR parts  (NA05030D) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (21)：

• PUJARI, S. B. Materials Science Forum. 1996, 223, 283
• NOMURA, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1995, 34, 5389
• SHARMA, A. D. J. Mater. Sci. Lett. 1998, 17, 1577
• HANSEN, P. J. Am. Ceram. Soc. 1998, 81, 1369
• CHAZONO, H. Key Engineering Materials. 2000, 181, 11

Terms in the title (4)： パルスレーザ蒸着 ,  コンデンサ ,  静電容量 ,  温度係数