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J-GLOBAL ID：200902283689232403   Reference number：05A0478870

Localized laser assisted eutectic bonding of quartz and silicon by Nd:YAG pulsed-laser

Nd:YAGパルスレーザによる水晶とシリコンの局所的なレーザ支援共晶接合

Author (2)： TAN A.W.Y. (National Univ. Singapore, Singapore, SGP) ,  TAY F.E.H. (National Univ. Singapore, Singapore, SGP)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A120  Issue： 2  Page： 550-561  Publication year： May. 17, 2005 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *eutectic ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Terms in the title (8)： Nd ,  YAG ,  パルスレーザ ,  水晶 ,  シリコン ,  レーザ ,  支援 ,  共晶