Art

J-GLOBAL ID：200902284082595864   Reference number：08A0137342

最新のエッチング技術とモノづくり エッチング技術を駆使した微細なモノづくり

Author (1)： SHIKIDA MITSUHIRO (名古屋大 大学院工学研究科)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 59  Issue： 2  Page： 84-87  Publication year： Feb. 01, 2008 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *etching ,...

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JST classification (1)： Other surface treatment  (WC08070F)

Reference (15)：

• 中山一雄. 機械加工. 1997
• 藤田博之. センサ・マイクロマシン工学. 2005
• 江刺正喜. マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• SHIKIDA, M. Sensors and Actuators A. 2000, 80, 179
• TANAKA, H. Sensors and Actuators A. 2004, 114, 516

Terms in the title (2)： エッチング ,  モノづくり