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J-GLOBAL ID：200902284856102289   Reference number：06A0802836

Nano Scale Servo Control of Atomic Force Microscope Based on Surface Topography Observer

表面形状オブザーバに基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボに関する研究

Author (2)： AOKI KENGO (横浜国大) ,  FUJIMOTO HIROSHI (横浜国大)
Material： 電気学会産業計測制御研究会資料  (Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
Volume： IIC-06  Issue： 132-143  Page： 1-6  Publication year： Sep. 08, 2006 
JST Material Number： X0577A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： surface ,...
Semi thesaurus term： *ナノスケールサーボ ,...

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JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  System identification  (IA02040O)

Reference (8)：

• 森田清三:「はじめてのナノプローブ技術」, 工業調査会 (2001)
• T. Mutsuno, T. Nakazawa, T. Nishino, A. Yamamoto, B. Kim, Y. Hoshi, K. Ikeda, M. Michitaka and H.Kawakatsu: “Fabricating Five Atomic Force Microscopes within Extremely Low Budget-A Student Project-”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.43, No.7B, pp. 4615-4618(2004).
• A. Sebastian, M. V. Salapaka and J. P. Cleveland: “Robust Control approach to atomic force microscopy”, Conf.Decision Contr., pp3443-3444(2003)
• O. M. E. Rifai and K. Yousef-Toumi: °On automating atomic force microscopes: An adaptive control approach”, Conf.Decision Contr., pp1574-1579(2004).
• G. Schitter, A. Stemmer, and F. Allgower: “Robust Two-Degree-of-Freedom Control of an Atomic Force Microscope”, Asian Journal of Control, Vol.6, No.2, pp156-163(2004).

Terms in the title (4)： 表面形状 ,  オブザーバ ,  原子間力顕微鏡 ,  研究