Art

J-GLOBAL ID：200902285718175166   Reference number：09A0926335

Optical Absorption of the Polymer Film Fabricated by Plasma Enhanced Polymerization from C₆H₆ and C₆H₁₀ in Ar and CF₄ Atmosphere Gas

プラズマ支援重合法により形成した高分子薄膜の光吸収損失

Author (2)： MORIKI KAZUNORI (東京都市大学) ,  YUMOTO MOTOSHIGE (東京都市大学)
Material： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
Volume： 129  Issue： 9  Page： 651-656 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： S0808A  ISSN： 0385-4205  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *LPCVD ,  thin film growth ,  *polymer thin film ,  *optical absorption ,  *optical waveguide ,  cluster formation ,  side chain ,  double bond
Semi thesaurus term： branched chain

JST classification (2)： Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (16)：

• (1) K. Moriki, T. Sato, A. Itabashi, and M. Yumoto: “Fabrication of Optical Polymer Waveguide by Plasma Enhanced Polymerization”, IEEJ Trans. FM, Vol. 128, No. 2, pp. 75-80 (2008-2) (in Japanese)
• 森木一紀・佐藤徹治・板橋 敦・湯本雅恵:「プラズマ支援重合法による高分子光導波路の形成」,電学論A, 128, 2, pp. 75-80 (2008-2)
• (2) J. Robertson : “Electric and atomic structure of diamond-like carbon”, Semicond. Sci. Technol., Vol. 18, pp. S12-S19 (2002)
• (3) F. Demichelis, C. F. Porro, and A. Tagliaferrp : “Evaluation of the [C(sp3)]/[C(sp2)] ratio in diamondlike films through the use of a complex dielectric constant”, Phys. Rev. B, Vol. 45, No. 24, pp. 14364-14370 (1992)
• (4) K. M. Krishna, H. Ebisu, K. Hagimoto, Y. Hayashi, T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno : “Low density of defect states in hydrogenated amorphous carbon thin film grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition”, Appl. Phys. Lett., Vol. 78, pp. 294-296 (2001)

Terms in the title (6)： プラズマ ,  支援 ,  重合法 ,  高分子薄膜 ,  光吸収 ,  損失