Art

J-GLOBAL ID：200902285846003610   Reference number：06A0634623

Development of multi-step processing in silicon-on-insulator for optical waveguide applications

光導波路に応用するためのシリコン・オン・インシュレータの多段階加工法の開発

Author (6)： SOLEHMAINEN K (VTT Information Technol., FIN) ,  AALTO T (VTT Information Technol., FIN) ,  DEKKER J (VTT Information Technol., FIN) ,  KAPULAINEN M (VTT Information Technol., FIN) ,  HARJANNE M (VTT Information Technol., FIN) ,  HEIMALA P (VTT Information Technol., FIN)
Material： Journal of Optics. A. Pure and Applied Optics  (J Opt A)
Volume： 8  Issue： 7  Page： S455-S460  Publication year： Jul. 2006 
JST Material Number： D0538C  ISSN： 1464-4258  CODEN： JOAOF8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical waveguide ,...
Semi thesaurus term： 曲がり導波路

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JST classification (2)： Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 光導波路 ,  応用 ,  シリコン・オン・インシュレータ ,  段階 ,  開発