Art

J-GLOBAL ID：200902286341746240   Reference number：03A0584186

Precision nano-fabrication and evaluation of a large area sinusoidal grid surface for a surface encoder

表面エンコーダ用の大面積正弦波格子面の精密ナノ製作と評価

Author (5)： GAO W (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ARAKI T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KIYONO S (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OKAZAKI Y (AIST, Tsukuba, JPN) ,  YAMANAKA M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 27  Issue： 3  Page： 289-298  Publication year： Jul. 2003 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ultraprecision machining ,...
Semi thesaurus term： encoder ,...

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JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Terms in the title (6)： エンコーダ ,  大面積 ,  正弦波 ,  精密 ,  製作 ,  評価