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J-GLOBAL ID：200902287324112285   Reference number：08A0943290

陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA)を用いた二次元イメージング測定

Author (8)： NARUMI TAKAMITSU (産業技術総合研) ,  NARUMI TAKAMITSU (筑波大 数理) ,  OSHIMA NAGAYASU (産業技術総合研) ,  SUZUKI RYOICHI (産業技術総合研) ,  ODAIRA TOSHIYUKI (産業技術総合研) ,  KINOMURA ATSUSHI (産業技術総合研) ,  UEDONO AKIRA (筑波大 数理) ,  FUJINAMI MASANORI (千葉大 大学院)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 69th  Issue： 2  Page： 600  Publication year： Sep. 02, 2008 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： positron ,  probe ,  *ion microprobe analyzer ,  *imaging ,  ion implantation ,  *silicon oxide ,  *vacancy ,  *positron annihilation ,  tantalum ,  lifetime

JST classification (2)： Positron annihilation  (BK16052L) ,  Lattice defects in other inorganic compounds  (BK12050B)

Terms in the title (2)： 陽電子プローブマイクロアナライザー ,  イメージング