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J-GLOBAL ID：200902289760283560   Reference number：06A0714411

Theoretical Prediction of the Pumping Performance of Dry Pumps (Taking the Scroll Pump and the Screw Pump by Way of Example)

ドライポンプの排気特性の理論的予測(スクロールポンプとスクリューポンプを例として)

Author (2)： SAWADA TADASHI (放送大 秋田学習セ) ,  OBAYASHI TETSURO (大阪真空機器製作所 名張工場)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 49  Issue： 8  Page： 460-465  Publication year： Aug. 20, 2006 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： screw pump ,...
Semi thesaurus term： screw pump ,...

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JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Reference (10)：

• 1) T. Sawada: J. Vac. Soc. Jpn, 43 (2000) 557.
• 2) M. Knudsen: Ann. Phys., 28 (1909) 75.
• 3) V. dA. Browne and J. E. A. John: Vacuum, 20 (1970) 525.
• 4) Y. Su, T. Sawada, J. Takemoto and S. Haga: Trans, JSME, 62 (1996) 184.
• 5) S. Kamada, T. Sawada, W. Sugiyama, M. Yabuki, M. Fujioka and and M. Tsuchiya: J. Vac. Soc. Jpn, 46 (2003) 55.

Terms in the title (5)： 排気特性 ,  理論 ,  予測 ,  スクロール ,  スクリューポンプ