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J-GLOBAL ID：200902109725658501   Reference number：00A0582362

ドライポンプ 各種ドライポンプの現状と課題

Author (1)： SAWADA TADASHI (秋田大 工学資源)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 43  Issue： 5  Page： 557-563  Publication year： May. 20, 2000 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum pump ,...

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JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Reference (16)：

• 1) 菊田理津雄 : 真空, 33 (1990) 631.
• 2) (株) 宇野澤組鉄工所 : ドライ真空ポンプカタログ.
• 3) H-P. Berges and M. Kuhn : Vacuum, 41 (1990) 1828.
• 4) 沼尾源司 : 真空, 33 (1990) 615.
• 5) 井出繁生, 小沢 修, 堤 修三 : ターボ機械, 23 (1995) 657.

Terms in the title (1)： 現状