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J-GLOBAL ID：200902290076613001   Reference number：06A0604993

Wide-Band and High Temperature Piezoelectric Response of Aluminum Nitride Thin Films Prepared on Silicon Substrates

シリコン基板上に作製した配向性 AlN 薄膜の広帯域及び高温における圧電応答性

Author (5)： OISHI YASUNOBU (産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ) ,  KISHI KAZUSHI (産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ) ,  AKIYAMA MORITO (産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ) ,  NOMA HIROAKI (産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ) ,  MOROFUJI YUKARI (産業技術総合研究所実環境計測・診断研究ラボ)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 114  Issue： 1332  Page： 722-724 (J-STAGE)  Publication year： 2006 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： pressure sensor ,...

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JST classification (3)： Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G) ,  Analytical instruments  (CC02020S) ,  Internal combustion engines in general  (PB02010R)

Reference (16)：

• 1) Kawabe, T., Journal of The Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 45, pp. 161-166 (2006) [in Japanese].
• 2) Mori, K., Journal of The Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 45, pp. 167-176 (2006) [in Japanese].
• 3) Nakatsuka, T., Kadoike, T., Hoshino, M., Ishii, H., Gotthard, E., Kawa, T. and Enomoto, Y., Proceeding of Academic Meeting of The Society of Automotive Engineers of Japan, No. 1-99, pp. 13-16 (1999) [in Japanese].
• 4) Ooishi, Y., Noma, H., Kishi, K., Ueno, N., Akiyama, M. and Kamohara, T., J. Ceram. Soc. Japan, Vol. 113, pp. 700-702 (2005) [in Japanese].
• 5) Stubbs, D. A. and Dutton, R. E., JOM, Vol. 48, pp. 29-31 (1996).

Terms in the title (7)： シリコン基板 ,  作製 ,  配向性 ,  AlN ,  薄膜 ,  広帯域 ,  圧電応答