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J-GLOBAL ID：200902290227806893   Reference number：08A0698790

石川県におけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)研究の取り組みと今後の展望

Author (1)： AWAZU KAORU (石川県工試)
Material： 先端加工  (先端加工学会誌)
Volume： 26  Issue： 1  Page： 5-12  Publication year： Apr. 01, 2008 
JST Material Number： L2222A  ISSN： 0916-3468  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Diamond ,  *diamond-like carbon ,  *ion implantation ,  scratch test ,  acoustic emission ,  *covering ,  DLC film ,  adhesion property ,  ion irradiation ,  Nanodiamonds ,  ore ,  precious stone
Semi thesaurus term： coating

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Testing of other materials  (HB05000T)

Reference (22)：

• S. Aisenberg, R. Chabot: Ion-Beam Depostion of Thin Films of Diamondlike Carbon, J. of Appl. Phys., 42(1971)2953-2958.
• H. Vora, T. J. Moravec: Structural Investigation of Thin Films of Diamondlike Carbon, J. of Appl. Phys., 52(1981)6151-6157.
• S. Matsumoto, Y. Sato, M. Kamo, N. Setaka:“ Vapor Deposition of Diamond Particles from Methane”, Japanese J. of Applied Physics, 21-4(1982) L18-L185.
• M. Kamo, Y. Sato, S. Matsumoto,. Setaka: Diamond Synthesis from Gas Phase in Microwave Plasma, J. of Crystal Growth, 62(1983)642-644.
• K. Awazu, H. Yoshida, H. Watanabe, K. Shimamura, M Iwaki: Effects of nitrogen ion beam bombardment of carbon thin films deposited on tungsten carbides and tool steels, IONICS, 17(1991)435-438.

Terms in the title (5)： 石川 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  DLC ,  研究 ,  展望