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J-GLOBAL ID：200902292198230831   Reference number：09A0105261

酸化亜鉛材料とゾル-ゲル法による低コスト透明導電膜の研究

Author (2)： MURAYAMA MASAKI (三重県科学技術振興セ) ,  INOUE KOJI (三重県科学技術振興セ)
Material： 三重県科学技術振興センター工業研究部研究報告  (三重県科学技術振興センター工業研究部研究報告書)
Issue： 32  Page： 62-68  Publication year： Dec. 05, 2008 
JST Material Number： Z0229B  ISSN： 1347-8796  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zinc oxide ,  *transparent conducting thin films ,  transference electrode ,  *sol-gel process ,  chemical composition ,  additive ,  quality ,  reduction(reaction) ,  *electrical resistivity ,  transmissivity ,  compound semiconductor ,  semiconductor thin film ,  *optical constant
Semi thesaurus term： 焼成温度 ,  水素還元

JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Electric conduction in other inorganic compounds  (BM03044O) ,  Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A)

Reference (13)：

• 日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第1661委員会編:“透明導電膜の技術 (改訂2版) ”. オーム社.(2006)
• 山本哲也ほか:“世界初, 酸化亜鉛で透明導電膜の大型化に成功”.月刊ディスプレイ, p70-74(2004)
• 内海健太郎:“ITO代替材料としてのZnO: Al膜’の開発”.月刊ディスプレイ, p67-72(2005)
• 技術情報協会編:“脱ITOに向けた透明導電膜の低抵抗・低温・大面積成膜技術”. 技術情報協会.(2005)
• 作花済夫:“ゾルLゲル法の科学”. アグネ承風社.(1988)

Terms in the title (4)： 酸化亜鉛 ,  ゾル-ゲル法 ,  透明導電膜 ,  研究