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J-GLOBAL ID：200902296055942585   Reference number：06A0790540

「アークプラズマガンによるナノ薄膜,ナノ粒子の形成について」

Author (10)： AGAWA YOSHIAKI (アルバック) ,  SAKAE KEN'ICHIRO (アルバック) ,  SAITO ATSUSHI (アルバック) ,  YAMAGUCHI KOICHI (アルバック) ,  MATSUURA MASAMICHI (アルバック) ,  SUZUKI YASUMASA (アルバック) ,  HARA YASUHIRO (アルバック) ,  NAKANO YOSHITAKA (アルバック 筑波超材料研) ,  TSUKAHARA NAOKI (アルバック 筑波超材料研) ,  MURAKAMI HIROHIKO (アルバック 筑波超材料研)
Material： ULVAC Technical Journal  (ULVAC Tech J)
Issue： 65  Page： 1-5  Publication year： Sep. 22, 2006 
JST Material Number： L3761A  ISSN： 0910-6189  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma CVD ,...
Semi thesaurus term： plasma treatment

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JST classification (2)： Plasma devices  (BJ02082I) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (5)：

• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.49 1998 p9-11
• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.57 2002 p1-5
• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.63 2005 p1-5
• M. Hiramatsu, et al Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No 22(2005)
• ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.63 2005 p1-5

Terms in the title (4)： アーク ,  プラズマガン ,  ナノ薄膜 ,  ナノ粒子