Art

J-GLOBAL ID：200902296678477611   Reference number：04A0067543

Phase diagram of growth mode for the SiGe/Si heterostructure system with misfit dislocations

不整合転位を含むSiGe/Siヘテロ構造系に対する成長モードの相図

Author (6)： NAKAJIMA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  UJIHARA T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  USAMI N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  FUJIWARA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAZAKI G (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SHISHIDO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 260  Issue： 3/4  Page： 372-383  Publication year： Jan. 09, 2004 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thin film growth ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (6)： 不整合転位 ,  SiGe ,  Si ,  ヘテロ構造 ,  成長モード ,  相図