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J-GLOBAL ID：200902298206642964   Reference number：09A0191288

Electroplating of Metal Micro-structures Using a Resist Micro-machined by Proton Beam Writing

陽子ビーム書き込みにより微細加工したレジストを利用した金属微細構造の電着

Author (13)： UCHIYA N. (Shibaura Inst. Technol.) ,  FURUTA Y. (Shibaura Inst. Technol.) ,  NISHIKAWA H. (Shibaura Inst. Technol.) ,  WATANABE T. (Shibaura Inst. Technol.) ,  NAKATA T. (Shibaura Inst. Technol.) ,  HAGA J. (JAEA) ,  SATOH T. (JAEA) ,  OIKAWA M. (JAEA) ,  OHKUBO T. (JAEA) ,  ISHII Y. (Shibaura Inst. Technol.) ,  ISHII Y. (JAEA) ,  KAMIYA T. (Shibaura Inst. Technol.) ,  KAMIYA T. (JAEA)
Material： 日本原子力研究開発機構JAEA-Review
Page： 169  Publication year： Nov. 2008 
JST Material Number： L2149A  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： proton beam ,  fine patterning ,  polymethyl methacrylate ,  *nickel ,  *electrodeposition ,  metallic thin film ,  electron microscopy ,  *resist ,  *template effect ,  transcription ,  *ion irradiation ,  *pattern formation
Semi thesaurus term： PMMA

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： 陽子ビーム ,  書き込み ,  微細加工 ,  レジスト ,  微細構造 ,  電着