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J-GLOBAL ID：200902298240874106   Reference number：06A0605039

Study on Polishing of CVD Diamond Film (3rd report)-An attempt of polishing flat surface with non abrasive ultrasonic vibration polishing-

CVDダイヤモンド膜の研磨に関する研究(第3報)-砥粒レス超音波研磨法による平面研磨の試み-

Author (4)： YOKOSAWA TSUYOSHI (都立産業技術研) ,  TAKAGI JUN'ICHIRO (横浜国大) ,  KATAOKA SEIJI (東京都中小企業振興公社) ,  TANAKA SHIN'ICHI (日本電子工業)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 72  Issue： 8  Page： 1018-1024  Publication year： Aug. 05, 2006 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,...
Semi thesaurus term： *平面研磨

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JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (14)：

• 楊政峰. 熱化学反応によるダイヤモンド膜の研磨-最適研磨条件の選定. 精密工学会誌. 1991, 57, 1, 184
• 楊政峰. 熱化学反応によるダイヤモンド膜の研磨-研磨メカニズムについて. 精密工学会誌. 1991, 57, 3, 504
• 鈴木清. ダイヤモンドの高速摺動研磨-(第2報) 高能率砥粒レス研磨の条件. 1996年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1996, 929
• 岩井学. ダイヤモンドの高速摺動研磨法の研究-(第1報) 単結晶ダイヤモンド研磨への適用. 砥粒加工学会誌. 2002, 46, 2, 82
• 阿部利彦. 鏡面ダイヤモンドの利用. NEW DIAMOND. 2004, 20, 2, 18

Terms in the title (9)： CVD ,  ダイヤモンド膜 ,  研磨 ,  研究 ,  砥粒 ,  レス ,  超音波 ,  平面研磨 ,  試み