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J-GLOBAL ID：200902299406763169   Reference number：05A0621480

Measurement of electron transport coefficients in tetramethylsilane vapour

テトラメチルシラン蒸気での電子輸送係数の測定

Author (7)： YOSHIDA Kosaku (Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN) ,  MORI S (Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN) ,  KISHIMOTO Y (Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN) ,  OHUCHI H (Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN) ,  HASEGAWA H (Tomakomai National Coll. Technol., Tomakomai, JPN) ,  SHIMOZUMA M (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  TAGASHIRA H (Muroran Inst. Technol., Muroran, JPN)
Material： Journal of Physics. D. Applied Physics  (J Phys D)
Volume： 38  Issue： 12  Page： 1918-1922  Publication year： Jun. 21, 2005 
JST Material Number： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma CVD ,...

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JST classification (1)： Plasma in general  (BJ02010B)

Substance index (1)： Tetramethylsilane

Terms in the title (3)： テトラメチルシラン ,  蒸気 ,  電子輸送係数