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J-GLOBAL ID：200903000073289772

耐プラズマ部材およびそれを用いたプラズマ処理装置

Inventor： 宮崎 晃 ,  森田 敬司 ,  永坂 幸行 ,  守谷 修司
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998240887
Publication number (International publication number)：2000072529
Application date： Aug. 26, 1998
Publication date： Mar. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】この発明は、アルミナ粒子の脱落がなくしかも機械的強度にも優れ、さらに堆積したポリマーの剥離を抑制し、その結果として堆積したポリマーの除去を行う装置のクリーニングサイクルを長くすることが可能な耐プラズマ部材およびそれを用いたプラズマ処理装置を得ようとするものである。【解決手段】この発明は、平均結晶粒径が18〜45μm、表面粗さがRaで0.8〜3.0μm、かさ密度が3.90g/cm3 以上の緻密質アルミナ焼結体であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

プラズマ処理装置の反応室内で用いられ、平均結晶粒径が18〜45μm、表面粗さがRaで0.8〜3.0μm、かさ密度が3.90g/cm3 以上の緻密質アルミナ焼結体であることを特徴とする耐プラズマ部材。

IPC (5)：

C04B 35/10 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5)：

C04B 35/10 Z ,  B01J 19/00 H ,  B01J 19/08 E ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 B

F-Term (29)：

4G030AA03 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA01 ,  4G030BA20 ,  4G030BA32 ,  4G030CA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA14 ,  4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA47 ,  4G075EC21 ,  4G075FB04 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB21 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DB03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• プラズマ生成用ガス通過管
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-152010   Applicant：日本碍子株式会社
• 特開昭61-289634
  
• アルミナ質ベルジヤ-
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-016149   Applicant：東芝セラミックス株式会社

Cited by examiner (3)

• プラズマ生成用ガス通過管
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-152010   Applicant：日本碍子株式会社
• 特開昭61-289634
  
• アルミナ質ベルジヤ-
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-016149   Applicant：東芝セラミックス株式会社