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J-GLOBAL ID：200903000362150880

光学部品の製造方法

Inventor：
矢野 邦彦

About 矢野 邦彦


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006011482
Publication number (International publication number)：2007193132
Application date： Jan. 19, 2006
Publication date： Aug. 02, 2007
Summary：
【課題】光学薄膜の内部応力のために基板が歪んだり膜剥がれが発生する等のトラブルを効果的に回避できる光学部品の製造方法を提供すること。【解決手段】基板1の成膜面の反対側に、光学薄膜3を単独で基板1に形成した場合に基板1に生ずる反りとは逆の方向に反りを与える反り付与層2を、蒸着またはスパッタリングにより予め形成する工程と、反り付与層2の形成後に基板1の成膜面に蒸着またはスパッタリングにより光学薄膜3を形成する工程と、光学薄膜3の形成後に反り付与層2を除去する工程とを備える。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
基板上に光学薄膜を形成する光学部品の製造方法であって、 前記基板の成膜面の反対側面に、前記光学薄膜を単独で前記基板に形成した場合に前記基板に生ずる反りとは逆の方向に反りを与え、金属または金属酸化物から形成される反り付与層を、蒸着またはスパッタリングにより予め形成する反り付与層形成工程と、 前記反り付与層形成工程後に前記基板の成膜面に蒸着またはスパッタリングにより前記光学薄膜を形成する光学薄膜形成工程と、 前記光学薄膜形成工程後に前記反り付与層を前記基板から除去する除去工程とを備えることを特徴とする光学部品の製造方法。
IPC (4)：
G02B 1/11 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  C23C 14/08
FI (4)：
G02B1/10 A ,  G02B5/26 ,  G02B5/28 ,  C23C14/08 N
F-Term (27)：
2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA24 ,  2H048GA07 ,  2H048GA12 ,  2H048GA32 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61 ,  2K009AA03 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BA42 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BB04 ,  4K029BC07 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA09 ,  4K029GA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 特開昭58-217901号公報
  • 特開昭62-249105号公報
  • 光学素子及び投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-216176   Applicant：株式会社ニコン
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