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J-GLOBAL ID：200903000409330148

電子線照射装置

Inventor： 大野 幸彦
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (2)： 藤田 考晴 ,  上田 邦生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006074401
Publication number (International publication number)：2007248354
Application date： Mar. 17, 2006
Publication date： Sep. 27, 2007
Summary：

【課題】オゾンの除去に係るコストやメンテナンスの手間が少ない電子線照射装置を提供する。【解決手段】電子線照射装置を、電子線射出部が設けられた真空チャンバーと、真空チャンバー内から電子線射出部を通じて真空チャンバー外に電子線を射出する電子線発生装置と、電子線の作用によって真空チャンバー外に生じたオゾンを回収するオゾン回収装置を設ける。オゾン回収装置として、オゾンを含む空気を取り込む吸気装置と、吸気装置によって回収された空気を水と接触させてオゾンを水に吸着させるオゾン吸着装置とを設ける。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

電子線射出部が設けられた真空チャンバーと、 該真空チャンバー内から前記電子線射出部を通じて前記真空チャンバー外に電子線を射出する電子線発生装置と、 前記電子線の作用によって前記真空チャンバー外に生じたオゾンを回収するオゾン回収装置とを有しており、 該オゾン回収装置は、オゾンを含む空気を取り込む吸気装置と、 該吸気装置によって回収された空気を水と接触させて前記オゾンを前記水に吸着させるオゾン吸着装置とを有している電子線照射装置。

IPC (3)：

G21K 5/00 ,  G21K 5/04 ,  B01D 53/14

FI (4)：

G21K5/00 B ,  G21K5/00 A ,  G21K5/04 E ,  B01D53/14 C

F-Term (7)：

4D020AA10 ,  4D020BA23 ,  4D020BB03 ,  4D020CB01 ,  4D020CD01 ,  4D020DA01 ,  4D020DB15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 電子線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-275417   Applicant：三菱重工業株式会社