光強度測定装置及び光強度測定方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002010738
Publication number (International publication number)：2003214947
Application date： Jan. 18, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】多結晶半導体ダイヤモンド薄膜等のワイドバンドギャップ半導体を使用し、紫外線等の波長が短い光の強度を測定する光強度測定装置及び光強度測定方法において、信頼性が高く、低コストであり、迅速且つ正確な測定が可能な光強度測定装置及びこの光強度測定装置を使用した光強度測定方法を提供する。【解決手段】チョッパ17により紫外線センサ11に紫外線16を10秒間入射させ、その後、紫外線16を10秒間遮断する。このとき、紫外線センサ11の出力値をセンサアンプ18により検出し、この結果をデジタルマルチメータ19に対して出力する。デジタルマルチメータ19により、紫外線16の遮断1秒前の出力値Aと、遮断1秒後の出力値Bとの差(A-B)を求める。この出力差(A-B)の値が、紫外線16の強度を示す。

Claim (excerpt)：

測定対象光を通過させるか遮断するかを選択する測定光断続手段と、前記測定対象光の経路における前記測定光断続手段の後方に配置され前記測定光断続手段が前記測定対象光を通過させるときにのみ前記測定対象光が入射するワイドバンドギャップ半導体からなる検出部材と、この検出部材に接続された1対の電極と、この1対の電極に接続され前記電極間に電圧を印加すると共に前記電極間に流れる電流を検出する検出手段と、前記測定対象光が前記検出部材に入射しているときの前記検出手段の出力をAとし、この出力Aを検出後、前記測定光断続手段により前記測定対象光を遮断し一定時間経過後の前記検出手段の出力をBとするとき、(A-B)の値に基づいて前記測定対象光の強度を算出する演算手段と、を有することを特徴とする光強度測定装置。

IPC (3)：

G01J 1/02 , G01J 1/42 , H01L 31/0248

FI (3)：

G01J 1/02 G , G01J 1/42 A , H01L 31/08 H

F-Term (17)：

2G065AA04 , 2G065AB05 , 2G065AB27 , 2G065AB28 , 2G065BA02 , 2G065BB21 , 2G065BB37 , 2G065BC13 , 2G065BC16 , 2G065BC28 , 2G065BC40 , 2G065CA08 , 2G065DA20 , 5F088AA11 , 5F088AB03 , 5F088BA20 , 5F088BB06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-134290
特開昭53-022487
特開平3-116780

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