ダイヤモンド膜紫外線センサ及びセンサアレイ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998052548
Publication number (International publication number)：1999248531
Application date： Mar. 04, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】太陽光に影響されず、応答速度が速く、耐熱性が優れており、紫外線検出感度が高い実用的なダイヤモンド膜紫外線センサを提供する。【解決手段】基板1と、この基板上に気相合成により一軸性に配向成長したダイヤモンド膜2と、このダイヤモンド膜上に形成された第1電極3及び第2電極4とを有する。ダイヤモンド膜2は膜厚が1乃至40μmであり、このダイヤモンド膜2が紫外線検出層となる。

Claim (excerpt)：

基板と、この基板上に気相合成により一軸性に配向成長した膜厚が1乃至40μmのダイヤモンド膜からなる紫外線検出層と、この紫外線検出層に接触した少なくとも1対の第1電極及び第2電極とを有することを特徴とするダイヤモンド膜紫外線センサ。

IPC (4)：

G01J 1/02 , G01J 1/42 , H01L 31/04 , H01L 31/10

FI (4)：

G01J 1/02 G , G01J 1/42 A , H01L 31/04 , H01L 31/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

紫外線検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-081750 Applicant：大阪瓦斯株式会社
単結晶ダイヤモンド膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-219625 Applicant：株式会社神戸製鋼所
単結晶ダイヤモンド膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-184036 Applicant：株式会社神戸製鋼所

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