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J-GLOBAL ID：200903000508733181

欠陥検出装置及び方法

Inventor：
田代 慎太郎

About 田代 慎太郎


Applicant, Patent owner：
三菱レイヨン株式会社

About 三菱レイヨン株式会社


Agent (1)： 中村 稔 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000305638
Publication number (International publication number)：2002116015
Application date： Oct. 05, 2000
Publication date： Apr. 19, 2002
Summary：
【要約】【課題】 精度良く被検査物体の表面凹凸を検出する。【解決手段】 周期的な明暗ストライプパターン(11)を被検査物体(2)に照射する照明手段(1)と、前記被検査物体を反射したパターンまたは透過したパターンを撮像する撮像手段(3)と、前記撮像手段におけるストライプパターンの明暗画像のコントラスト変化に基づいて前記被検査物体の欠陥を検出する検出手段(4)と、を備える欠陥検出装置において、前記撮像手段が有するレンズ(31)の焦点を、前記照明手段のストライプパターンの位置と比較して遠方又は手前の位置にずらす。
Claim (excerpt)：
周期的な明暗ストライプパターンを被検査物体に照射する照明手段と、前記被検査物体を反射したパターンまたは透過したパターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段におけるストライプパターンの明暗画像のコントラスト変化に基づいて前記被検査物体の欠陥を検出する検出手段と、を備える欠陥検出装置において、前記検出手段は、コンパレータ、及び画像膨張回路を備えることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4)：
G01B 11/30 ,  G01B 11/30 101 ,  G01N 21/896 ,  G01N 21/958
FI (4)：
G01B 11/30 A ,  G01B 11/30 101 A ,  G01N 21/896 ,  G01N 21/958
F-Term (27)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC02 ,  2F065CC06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ05 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  2G051AA37 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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