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J-GLOBAL ID：200903000530024992

プリアライメント装置及びこれを備えたアライメント装置及び液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器及び電子機器の製造方法

Inventor： 小島 健嗣
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004276598
Publication number (International publication number)：2006091418
Application date： Sep. 24, 2004
Publication date： Apr. 06, 2006
Summary：

【課題】 基板を狭持することなく、基板の位置決めを行うことができるプリアライメント装置及びこれを備えたアライメント装置及び液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器及び電子機器の製造方法を提供する。【解決手段】 マザー基板127を吸着テーブル19の上に載置したときに、マザー基板127の外形寸法W1よりも最短間隔W2が大きくなるようにマザー基板127に対してX方向の両側に配置したX方向ガイド部材85と、Y方向の両側に配置したY方向ガイド部材86と、マザー基板127を吸着テーブル19上に吸着して固定するエアー吸引・供給装置71とを有し、X方向ガイド部材85とY方向ガイド部材86に囲まれた領域内にマザー基板127を載置した後に、エアー吸引・供給装置71を用いて位置決めを行う。【選択図】 図5

Claim (excerpt)：

ワークをテーブル上のワーク載置領域で位置決めを行うプリアライメント装置であって、 前記テーブルに設けられ、前記ワーク載置領域を挟むX方向の両側に配置されたX方向ガイド部材と、 前記テーブルに設けられ、前記ワーク載置領域を挟むY方向の両側に配置されたY方向ガイド部材とを有し、 前記X方向ガイド部材の最短間隔は、前記テーブル上で前記ワークの載置に必要なX方向の最短間隔よりも広く、前記Y方向ガイド部材の最短間隔は、前記テーブル上で前記ワークの載置に必要なY方向の最短間隔よりも広いことを特徴とするプリアライメント装置。

IPC (2)：

G09F 9/00 ,  B05C 5/00

FI (2)：

G09F9/00 338 ,  B05C5/00 101

F-Term (13)：

4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  5G435AA17 ,  5G435GG12 ,  5G435KK03 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 露光装置の搬送装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-158021   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社