ニオイ識別用センサアレイ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：北村修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998162470
Publication number (International publication number)：1999352087
Application date： Jun. 10, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】十分な機械強度を有し、所要のニオイ源を互いの温度干渉を防ぎながら正確に検出可能なニオイ識別用センサアレイを得る。【解決手段】金属酸化物半導体膜層5に金属酸化物触媒層6を積層配置して前記金属酸化物半導体膜層5に検出電極7を接続してなる感応部と、前記感応部を所定の作動温度に保持する加熱部8とからなるニオイ素子2の複数を基板1に配列して構成され、前記金属酸化物触媒層6のそれぞれが、アルミナ、シリカ、酸化亜鉛、ジルコニア、チタニア、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化鉄、酸化バナジウム、または、それら酸化物のいずれかを含む複合酸化物のうちから、互いに異なるように選択して形成されている。

Claim (excerpt)：

金属酸化物半導体膜層(5)に金属酸化物触媒層(6)を積層配置して前記金属酸化物半導体膜層(5)に検出電極(7)を接続してなる感応部と、前記感応部を所定の作動温度に保持する加熱部(8)とからなるニオイ素子(2)の複数を基板(1)に配列して構成されるニオイ識別用センサアレイであって、前記金属酸化物触媒層(6)のそれぞれが、アルミナ、シリカ、酸化亜鉛、ジルコニア、チタニア、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化鉄、酸化バナジウム、または、それら酸化物のいずれかを含む複合酸化物のうちから、互いに異なるように選択して形成されているニオイ識別用センサアレイ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-048394 Applicant：新コスモス電機株式会社
特開平4-127048
ニオイセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-029398 Applicant：能美防災株式会社

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