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J-GLOBAL ID：200903000663107777

可変抵抗素子及びその製造方法

Inventor： 細井 康成 ,  石原 数也 ,  渋谷 隆広 ,  大西 哲也 ,  中野 貴司
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 政木 良文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006125766
Publication number (International publication number)：2007180474
Application date： Apr. 28, 2006
Publication date： Jul. 12, 2007
Summary：

【課題】 可変抵抗体の電気的に寄与する領域の面積が上部電極若しくは下部電極等で規定される面積よりも微細な面積である構造の可変抵抗素子及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 2つの電極間に電圧パルスを印加した際に、2つの電極間で可変抵抗体を介して電流が流れる電流路の断面形状が、2つの電極のいずれの線幅よりも細い線幅で形成され、製造プロセスにおける最小加工寸法よりも小さい線幅で形成されるため、従来の可変抵抗素子における電気的に寄与する領域よりも、その面積が縮小される。 【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

2つの電極間に可変抵抗体を設けてなり、 前記2つの電極間に電圧パルスを印加することにより、前記2つの電極間の電気抵抗が変化する可変抵抗素子であって、 前記2つの電極間に電圧パルスを印加した際に、前記2つの電極間で前記可変抵抗体を介して電流が流れる電流路の断面形状が、前記2つの電極のいずれの線幅よりも細い線幅で形成され、 前記断面形状の線幅が、製造プロセスにおける最小加工寸法よりも小さいことを特徴とする可変抵抗素子。

IPC (1)：

H01L 27/10

FI (1)：

H01L27/10 451

F-Term (21)：

5F083CR15 ,  5F083FZ10 ,  5F083JA21 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083LA04 ,  5F083LA05 ,  5F083LA12 ,  5F083LA16 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083PR03 ,  5F083PR05 ,  5F083PR09 ,  5F083PR12 ,  5F083PR39 ,  5F083PR40

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 米国特許第6204139号明細書
  
• 情報を保存するマイクロ電子デバイスとその方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-600308   Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

Cited by examiner (2)

• 抵抗変化素子および製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-028014   Applicant：松下電器産業株式会社
• 情報を保存するマイクロ電子デバイスとその方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-600308   Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• An Edge Contact Type Cell for Phase Change RAM Featuring Very Low Power Comsumption