描画用ジョブの作成装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小西淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997208340
Publication number (International publication number)：1999038593
Application date： Jul. 18, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】効率的な描画ができ、且つ、パターンと文字列の重なりの有無を判断できるジョブ作成装置を提供する。【解決手段】電離放射線を用いた露光描画装置の露光描画をどのように実行させるかを指示するための複数の仕様(命令)データからなるジョブを仕様データ入力により作成する装置であって、少なくとも、所定のフオーマットからなる仕様データ等を入力する入力部と、入力部にて入力されたデータを解析する入力解析部と、仕様データを蓄積する仕様データ蓄積部と、仕様データ蓄積部に蓄積された仕様データにもとづき描画用ジョブを生成するジョブ作成部とを有し、且つ、ジョブ作成部にて生成された描画用ジョブについて、描画パターンの配置座標を座標順にソーティングするソーティング処理部と、配列表現が可能な、個別に表現された複数の描画パターンの配置座標を、1つの配列表現の書式にて表す配列化(アレイ化)処理部と、パターンと文字配列の配置座標の重なりを判断する重なり判断処理部とを有する。

Claim (excerpt)：

電離放射線を用いた露光描画装置の露光描画をどのように実行させるかを指示するための複数の仕様データからなるジョブを仕様データ入力により作成する装置であって、少なくとも、所定のフオーマットからなる仕様データ等を入力する入力部と、入力部にて入力されたデータを解析する入力解析部と、仕様データを蓄積する仕様データ蓄積部と、仕様データ蓄積部に蓄積された仕様データにもとづき描画用ジョブを生成するジョブ作成部とを有し、且つ、ジョブ作成部にて生成された描画用ジョブについて、描画パターンの配置座標を座標順にソーティングするソーティング処理部と、配列表現が可能な、個別に表現された複数の描画パターンの配置座標を、1つの配列表現の書式にて表す配列化処理部と、パターンと文字配列の配置座標の重なりを判断する重なり判断処理部とを有することを特徴とする描画用ジョブの作成装置。

IPC (2)：

G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (2)：

G03F 1/08 A , H01L 21/30 502 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開昭53-137672
データ分割ファイルの合成検証方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-254971 Applicant：富士通株式会社
特開昭53-137672

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