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J-GLOBAL ID:200903000692152048

微小ボール供給方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 國分 孝悦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997150095
Publication number (International publication number):1998326787
Application date: May. 23, 1997
Publication date: Dec. 08, 1998
Summary:
【要約】【課題】 微小ボールを正確に供給し得る方法および装置を提供する。【解決手段】 容器20に微小ボールBを供給するボール供給手段30と、ボール供給手段30から容器20に供給されるべき微小ボールBのボール数量を計数するボールカウンタ40と、を備える。ボールカウンタ40により微小ボールBを計数しながら、ボール供給手段30から容器20に微小ボールを供給する。容器20へ微小金属ボールBを供給するとき、シュート31を通過する微小金属ボールBはボールカウンタ40によって正確にカウントされ、微小金属ボールBの個数を計数しながら容器20に供給することで、容器20内の微小金属ボールBの数量をつねに最適範囲に維持することができる。
Claim (excerpt):
所定容器に微小ボールを供給する方法であって、ボール供給手段から前記容器に供給されるべき微小ボールのボール数量を計数し、前記容器内に収容される微小ボールの量が最適範囲に維持されるように微小ボールの供給量を制御することを特徴とする微小ボール供給方法。
IPC (2):
H01L 21/321 ,  H01L 21/60 311
FI (3):
H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 Q ,  H01L 21/92 604 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (1)

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