Pat
J-GLOBAL ID:200903000714601801
方形ガラス板の形状測定装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
高 雄次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001271963
Publication number (International publication number):2003075121
Application date: Sep. 07, 2001
Publication date: Mar. 12, 2003
Summary:
【要約】【課題】 縦、横の寸法と4隅の直角度の測定を再現性を高めて短時間で、欠陥を生じることなく、高精度でなし得る方形ガラス板の形状測定装置の提供。【解決手段】 ベース1上に設けられ、水平方向へ直線的に往復移動可能な移動テーブル2と、移動テーブル上に垂直軸回りに可逆回転可能に設けられ、方形ガラス板Wを水平に載置する回転テーブル8と、移動テーブルの移動経路の一方の端部においてベース上に設けられ、回転テーブルに載置された方形ガラス板の中心を回転テーブルの回転中心に位置決めする位置決め手段10と、移動テーブルの移動経路の両側方に対向配置してベース上に設けられ、方形ガラス板の側面との間の距離を測定する2つのレーザ距離計14と、移動テーブル等の動作を制御し、かつ、両レーザ距離計のデータから方形ガラス板の縦、横の寸法及び4隅の直角度を演算する制御・演算手段とを備える.
Claim (excerpt):
ベース上に設けられ、水平方向へ直線的に往復移動可能な移動テーブルと、移動テーブル上に垂直軸回りに可逆回転可能に設けられ、方形ガラス板を水平に載置する回転テーブルと、移動テーブルの移動経路の一方の端部においてベース上に設けられ、回転テーブルに載置された方形ガラス板の中心を回転テーブルの回転中心に位置決めする位置決め手段と、移動テーブルの移動経路の両側方に対向配置してベース上に設けられ、回転テーブルに載置された方形ガラス板の側面との間の距離を測定する2つのレーザ距離計と、移動テーブル、回転テーブル、位置決め手段及び両レーザ距離計の動作を制御し、かつ、両レーザ距離計のデータから方形ガラス板の縦、横の寸法及び4隅の直角度を演算する制御・演算手段とを備えることを特徴とする方形ガラス板の形状測定装置。
IPC (3):
G01B 11/02
, C03B 33/03
, G01B 11/26
FI (3):
G01B 11/02 Z
, C03B 33/03
, G01B 11/26 Z
F-Term (12):
2F065AA23
, 2F065AA32
, 2F065BB01
, 2F065BB22
, 2F065CC18
, 2F065FF11
, 2F065GG04
, 2F065JJ05
, 2F065JJ07
, 2F065PP12
, 2F065UU04
, 4G015FA00
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
-
三次元形状測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-061744
Applicant:株式会社ニコン
-
露光装置用露光テーブル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-319045
Applicant:株式会社オーク製作所
-
特開昭62-211245
-
眼鏡レンズの検査方法、検査装置および記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-092601
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
特開昭59-072727
Show all
Cited by examiner (5)
-
三次元形状測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-061744
Applicant:株式会社ニコン
-
露光装置用露光テーブル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-319045
Applicant:株式会社オーク製作所
-
特開昭62-211245
-
眼鏡レンズの検査方法、検査装置および記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-092601
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
特開昭59-072727
Show all
Return to Previous Page