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J-GLOBAL ID：200903002686803838

露光装置用露光テーブル

Inventor：
氏益 稔

About 氏益 稔


Applicant, Patent owner：
株式会社オーク製作所

About 株式会社オーク製作所


Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999319045
Publication number (International publication number)：2001133986
Application date： Nov. 10, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】露光装置用露光テーブルにワークを載置して各作業を行っても、露光装置用露光テーブルに貼り付くことがなく、スムーズなワークの移動を可能にする露光装置用テーブル提供することを課題とする。【解決手段】露光装置で使用され、搬送手段により搬送されて来るワークを載置する露光装置用露光テーブル1において、前記露光装置用露光テーブルは、そのワークWとの載置面に、前記ワークとの離脱が容易となるフッ素樹脂で表面処理加工2を施した露光装置用露光テーブル1として構成した。
Claim (excerpt)：
露光装置で使用され、搬送手段により搬送されてくるワークを載置する露光装置用露光テーブルにおいて、前記露光装置用露光テーブルは、そのワークの載置面に、前記ワークとの離脱が容易となる表面処理加工を施したことを特徴とする露光装置用露光テーブル。
IPC (4)：
G03F 7/20 501 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00
FI (4)：
G03F 7/20 501 ,  G12B 5/00 T ,  H05K 3/00 H ,  H01L 21/30 503 A
F-Term (11)：
2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB06 ,  2F078CB09 ,  2F078CC02 ,  2H097BA10 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
  • 吸着パッド
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-221719   Applicant：ソニー株式会社
  • コンタクト露光機
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-069006   Applicant：沖電気工業株式会社
  • 特開平4-073652
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