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J-GLOBAL ID:200903000781318030
真空ポンプ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
有我 軍一郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998073637
Publication number (International publication number):1999270485
Application date: Mar. 23, 1998
Publication date: Oct. 05, 1999
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、吸入部から吐出部までに至り圧縮比が段階的に高められている、圧縮比が少なくとも4である真空度の高いスクリュー型真空ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】 シャフト10mおよびスクリューにスプライン34加工を施し、そのスプライン34を基準にスクリューを加工する。不等リード(圧縮比が漸増する部分)からなるスクリュー部分22mと等リードの密なスクリュー部分24mとを別々に製作し、結合位置23で継ぎ合わせる。位相合わせは治具や変位計を用いると確実に位置決めでき、ナット32mやスプライン34によって固定できる。
Claim (excerpt):
軸に対し垂直断面の形状が同一であり、軸方向に沿って吸入エンドから吐出エンドまで同一径である多数巻のスクリューを備えており、該スクリュウは、不等リードスクリューで構成された吸入エンド側スクリュー部と、該吸入エンド側スクリュー部とは別体に形成された吐出エンド側スクリュー部と、を結合してなり、吸入エンドの一回転当たりの吐出し量と吐出エンドの一回転当たり吐出し量の容積比が少なくとも4対1であることを特徴とするスクリュー型真空ポンプ。
IPC (2):
FI (2):
F04C 29/00 D
, F04C 25/02 M
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭48-025206
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無段圧縮形スクリュー式真空ポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-210373
Applicant:コーウエル精密株式会社
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容積式真空ポンプ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-162401
Applicant:株式会社荏原製作所
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