メタルマスクの製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：後藤憲秋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004294713
Publication number (International publication number)：2006103223
Application date： Oct. 07, 2004
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：

【課題】開口部内壁の平滑度を高めてハンダペーストの塗布量を安定させるメタルマスクの製造方法を提供する。【解決手段】金属板10にレーザ光を照射して印刷用のパターン開口部を形成し、前記開口部内に微細な砥粒を含む研磨剤溶液を封入し金属板10に振動を加えて該開口部の内壁を研磨するとともに、次いで、開口部内壁12に前記研磨剤溶液30と極細繊維50よりなる研磨材を接触させて内壁12を研磨する。前記研磨剤溶液30は、アルミナの微細な砥粒31を含む硝酸塩と水との混合液である。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

金属板にレーザ光を照射して印刷用のパターン開口部を形成し、前記開口部内に微細な砥粒を含む研磨剤溶液を封入し金属板に振動を加えて該開口部の内壁を研磨するとともに、次いで、前記開口部内壁に前記研磨剤溶液と極細繊維よりなる研磨材を接触させて内壁を研磨することを特徴とするメタルマスクの製造方法。

IPC (4)：

B41C 1/05 , B23K 26/00 , B24B 9/00 , B24B 31/00

FI (4)：

B41C1/05 , B23K26/00 G , B24B9/00 601K , B24B31/00 C

F-Term (30)：

2H084AA05 , 2H084AE05 , 2H084BB08 , 2H084CC10 , 2H084CF10 , 3C049AA07 , 3C049AA11 , 3C049AB01 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C058AA01 , 3C058AA07 , 3C058AB01 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 3C058CB05 , 3C058DA02 , 3C058DA10 , 4E068AH00 , 4E068CE04 , 4E068CJ07 , 4E068DA11 , 4E068DA14 , 4E068DB01 , 5E319AA03 , 5E319BB05 , 5E319CC33 , 5E319CD04 , 5E319CD29 , 5E319GG20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-234764 Applicant：太陽化学工業株式会社

Cited by examiner (4)

スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-234764 Applicant：太陽化学工業株式会社
電極の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-241552 Applicant：ブラザー工業株式会社
柔軟なキャリアプレートを有する半導体ウェハポリシング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-030088 Applicant：インテグレイテッドプロセスイクイプメントコーポレイション

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