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J-GLOBAL ID:200903000940551841

全反射減衰を利用したセンサー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000392955
Publication number (International publication number):2002195944
Application date: Dec. 25, 2000
Publication date: Jul. 10, 2002
Summary:
【要約】【課題】 光ビームに含まれるコヒーレントノイズ等による細かいノイズの影響を受けず、高いS/Nで表面プラズモン共鳴信号を測定する。【解決手段】 誘電体ブロック10と、その一面に形成された薄膜層12と、光ビーム13を誘電体ブロック10に対して、該ブロック10と薄膜層12との界面10bで全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系15と、上記界面10bにおいて全反射した光ビームを検出するアレイ状光検出手段17とを備えた全反射減衰を利用したセンサーにおいて、光ビーム13の、界面10bから光検出手段17に至る光路上に拡散板27を配する。光ビーム13は拡散板27で拡散されることにより、該光ビーム13に含まれる細かいノイズが平均化され、光検出手段17において受光される強度分布への影響が除去される。
Claim (excerpt):
誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されて、試料に接触させられる薄膜層と、光ビームを発生させる光源と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、前記界面で全反射した光ビームの強度を測定して、全反射減衰の状態を検知する光検出手段と、前記界面で反射した光ビームの前記光検出手段に至る光路上に配された、該光ビームを拡散させる拡散板とを備えてなることを特徴とする全反射減衰を利用したセンサー。
F-Term (24):
2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM09 ,  2G059MM11 ,  2G059PP04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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