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J-GLOBAL ID：200903001027361392

プラズマ計測用プローブ及びこれを用いたプラズマ計測方法

Inventor： 佐野 直樹 ,  原 昌輝 ,  香野 淳 ,  関谷 光信 ,  鮫島 俊之
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993157438
Publication number (International publication number)：1995037817
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 比較的低励起状態のプラズマ雰囲気においても確実にプラズマ計測を行うことができるプローブを提供する。【構成】 プラズマ計測用のプローブの表面積を10-6m2 以上として構成する。

Claim (excerpt)：

表面積が10-5m2 以上とされたことを特徴とするプラズマ計測用プローブ。

IPC (4)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/66 ,  H05H 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-035724
  
• 特開昭54-135574
  
• 特開平2-298269
  
• 特開昭63-310965
  
• 高周波励起プラズマの計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-022106   Applicant：大見忠弘