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J-GLOBAL ID：200903001094879304

スパッタ装置

Inventor： 岩嶋 輝明
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315200
Publication number (International publication number)：1995166345
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jun. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 スパッタ装置におけるコリメート板を清浄にクリーニングする。【構成】 コリメート板1にヒータ2を一体に組込んである。ヒータ2に通電してコリメート板1を加熱することにより、コリメート板1の板面及び開口部8の内周面に付着したスパッタ粒子を蒸発気化させて除去する。

Claim (excerpt)：

クリーニング機構を有し、チャンバ内のターゲット材より飛散したスパッタ粒子をコリメート板の開口部に通してウェハホルダ上の蒸着体に付着させてスパッタ処理を行うスパッタ装置であって、クリーニング機構は、コリメート板に付着したスパッタ粒子を加熱して蒸発させ、これを除去するものであることを特徴とするスパッタ装置。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭60-135569
  
• 特開昭63-310965
  
• 特開昭62-017173
  
• 特開平3-071629
  
• スパッタリング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-310476   Applicant：日本電気株式会社