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J-GLOBAL ID：200903001105252740

光ディスク原盤作製方法及び作製装置

Inventor： 宮本 光秀 ,  保坂 純男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000123153
Publication number (International publication number)：2001307385
Application date： Apr. 24, 2000
Publication date： Nov. 02, 2001
Summary：

【要約】【課題】 電子線を用いた光ディスク原盤作製において、電子線を原盤の所定の位置に正確に照射する。【解決手段】 原盤カッティング時に、原盤が1回転する間に複数のトラックを形成できるようにした。また、原盤と電子銃の対物レンズとの間の距離が一定になるよう制御機構を設けた。

Claim (excerpt)：

回転する原盤に電子線を用いてパターンを描画する光ディスク原盤作製方法において、原盤が1回転する間に複数のトラックのパターンを描画することを特徴とする光ディスク原盤作製方法。

IPC (4)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G11B 7/007

FI (4)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G11B 7/007

F-Term (20)：

2H097AA03 ,  2H097AB07 ,  2H097BB03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA20 ,  5D090AA01 ,  5D090BB01 ,  5D090CC01 ,  5D090CC14 ,  5D090DD01 ,  5D090FF22 ,  5D090GG02 ,  5D090KK13 ,  5D090KK14 ,  5D090KK17 ,  5D121AA02 ,  5D121BB32 ,  5D121BB38 ,  5D121BB40 ,  5D121GG02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 記録媒体製造用原盤の製造方法、記録媒体製造用原盤、記録媒体用基板及び記録媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-079666   Applicant：ソニー株式会社