Pat
J-GLOBAL ID:200903001149128281
レーザ加工方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
田澤 博昭 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995268044
Publication number (International publication number):1997085475
Application date: Sep. 22, 1995
Publication date: Mar. 31, 1997
Summary:
【要約】【課題】 被加工部材の溶融量を減らしながら蒸発率を高めることで、周縁部にシャープなエッジを有する凹部また孔を簡単に形成可能にする。【解決手段】 レーザ装置1からパルス幅が1ピコ秒以下のピークパワーの高いレーザビームを出力し、この出力されたレーザビームを集光レンズ4により集光して被加工部材5上に照射し、この照射によって該被加工部材5上における上記レーザビームの照射部位を蒸発させ、この蒸発によって上記被加工部材5上に凹部または孔を形成する。
Claim (excerpt):
レーザ装置からパルス幅が1ピコ秒以下のピークパワーの高いレーザビームを出力し、この出力されたレーザビームを集光レンズにより集光して被加工部材上に照射し、この照射によって該被加工部材上における上記レーザビームの照射部位を蒸発させ、この蒸発によって上記被加工部材上に凹部または孔を形成するレーザ加工方法。
IPC (2):
B23K 26/00
, B23K 26/00 330
FI (3):
B23K 26/00 N
, B23K 26/00 B
, B23K 26/00 330
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
リトグラフ印刷部材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-228358
Applicant:プレステク,インコーポレイテッド
-
特開平4-234647
-
レーザー誘起破壊及び切断形状を制御する方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平7-526364
Applicant:ザリージェンツオブザユニバーシティーオブミシガン
Cited by examiner (3)
-
レーザー誘起破壊及び切断形状を制御する方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平7-526364
Applicant:ザリージェンツオブザユニバーシティーオブミシガン
-
リトグラフ印刷部材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-228358
Applicant:プレステク,インコーポレイテッド
-
特開平4-234647
Return to Previous Page