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J-GLOBAL ID：200903001187195448

形状測定装置

Inventor： 南崎 光宏 ,  加藤 真幸
Applicant, Patent owner： エヌエスディ株式会社
Agent (1)： 松波 祥文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997030374
Publication number (International publication number)：1998096611
Application date： Feb. 14, 1997
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 物体の表面形状の光信号データを高速かつ高分解能に取得することを可能にし、被検体の連続測定を高い精度で行うことを可能にした形状測定装置を提供する。【解決手段】 形状測定装置10は、レーザ光照射器12とラインカメラ13を被検体Wの回転軸を含む平面H1上に配置し、この平面H1にスリットレーザ光とその反射光の軌道を一致させる。そして、測定面に投影されるスリット光の反射光を”線”の画像としてラインカメラ13に結像する。スリット光は、スリット長さ方向に光強度分布が変化するように調整される。被検体Wを回転させると、測定面の径方向の高さ変動にともなって反射光の光強度分布波形に基準面の光強度波形からのズレ(位相差、距離など)を生じる。この波形のズレに基づいて基準面からの測定面の高さの変動差を算出し、測定面の三次元形状データを作成する。

Claim (excerpt)：

物体を所定の速度で一定方向に移動させる駆動装置と、前記物体の表面にスリット光を投影する光源であって、前記物体の移動方向に対して直交する平面に前記スリット光の軌道を一致させる光源と、前記スリット光の光強度分布をスリット長さ方向に変化させるフィルタと、前記物体の表面に投影される前記スリット光の反射光を線画像として捉えるラインカメラであって、前記スリット光の軌道平面に前記反射光の軌道を一致させるラインカメラと、前記反射光の光信号を取り込み解析することにより、前記反射光の光強度分布波形を求める画像処理装置と、前記光強度分布波形を、あらかじめ設定した基準面の基準光強度分布波形と比較することで両者の波形のズレを検出し、前記基準面からの前記物体の表面の高さの変動差に換算する演算装置とを備えたことを特徴とする形状測定装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 形状検出方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-289153   Applicant：松下電工株式会社
• 特公平7-026828
  
• 3次元情報取り込み方式
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-328670   Applicant：ファナック株式会社
• 特公平7-026828