水晶振動子用測定セル

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鎌田文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002125918
Publication number (International publication number)：2003315233
Application date： Apr. 26, 2002
Publication date： Nov. 06, 2003
Summary：

【要約】【課題】水晶振動子用測定セルを高温、高圧の被測定物にも使用し得るようにする。【解決手段】密封空間23を有するケーシングの開口23aに水晶振動子31を水密に取り付けて、水晶振動子用測定セル20を構成する。この測定セル20に、複動式シリンダーからなる圧力調整器40を付設し、密封空間23の圧力と被測定物の圧力を平衡に調整する。これにより、高圧の被測定物や圧力の変動する被測定物も計測可能である。また、水晶振動子31の表裏面に圧力差がないので、その水晶振動子31を薄くでき、計測精度を向上できる。密封空間23内が一定圧力とされ、水晶振動子31の表裏面に圧力差がある時は、その測定値を圧力変化との相関関係に基づいて数値補正を行う。また、水晶振動子31に接続される検出回路30をケーシング外に設ければ、高温の被測定物が計測可能であり、一方、ケーシング内に設けてより精度を高めることもできる。

Claim (excerpt)：

ケーシングに開口を形成し、その開口に水晶振動子を水密に取り付け、前記ケーシングに、前記水晶振動子のケーシング内側の面を含む密封空間を形成し、その密封空間に予め前記水晶振動子が耐え得る圧力を印加した水晶振動子用測定セル。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

水晶振動子セル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-096252 Applicant：セイコー電子工業株式会社
QCMセンサデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-056745 Applicant：北斗電工株式会社, 株式会社明電舎
特開平4-325146

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