Pat
J-GLOBAL ID：200903001207245285

基板の検査方法および検査装置

Inventor：
田口 哲也

About 田口 哲也


Applicant, Patent owner：
京セラ株式会社

About 京セラ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002341451
Publication number (International publication number)：2004177185
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：
【課題】大面積の基板の表面に形成された凹凸の形状の面内分布を短時間で検査したり、凹凸の形状の短時間で定量的に検査する方法と装置を提供する【解決手段】表面に半頂角αの円錐状もしくは角錐状の突起1を多数有する基板の検査方法であって、上記基板を基準面4上に載置するとともに、この基準面4から上記半頂角α+β1の延長線上から光2を照射して反射光を上記半頂角α-β2(β2=β1)の延長線上に設置したカメラ3で受光する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
表面に円錐状もしくは角錐状の突起を多数有する基板の検査方法において、前記円錐状もしくは角錐状の錐面の母線に対する入射角θ1の延長線上から光を照射して反射光を反射角θ2の延長線上で受光することを特徴とする基板の検査方法。
IPC (4)：
G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  H01L31/04
FI (4)：
G01B11/30 102Z ,  G01N21/956 A ,  H01L21/66 J ,  H01L31/04 H
F-Term (35)：
2F065AA32 ,  2F065AA35 ,  2F065AA36 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065FF43 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB20 ,  2G051AC11 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EB01 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106CA70 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  5F051AA02 ,  5F051AA03 ,  5F051GA04 ,  5F051GA15 ,  5F051GA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM