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J-GLOBAL ID：200903001255205082
位置合わせ機能付き顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994295113
Publication number (International publication number)：1996152430
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】 異物検査装置とAFM装置の座標リンケージを容易にし、異物のAFM形状測定のスループットを向上し、又、AFMの測定の再現性を向上する。【構成】 光学顕微鏡7付きの大型試料用AFM装置2に、光錯乱光学系を組み込んだ。光学顕微鏡7に対して暗視野となるように、入射光を導入し、試料1の表面に対して入射角を変化できる構成とした。又、入射光は、光ファイバー12a、12bでのAFMの主筐体に導入した。試料1の表面よりの反射光を二分割検出器で受け、この信号より暗視野顕微鏡の自動焦点合せを行った。装置全体を防音の暗箱17で覆い散乱光検出のS/Nを向上した。
Claim (excerpt)：
試料を載置し該試料を移動するx,y,zステージと、前記試料の形状を測定するために前記試料表面に沿って走査される探針を自由端に持つカンチレバーを有する原子間力顕微鏡(AFM)装置と、前記カンチレバーから所定距離離れた所に光軸を有し前記試料面を観測する光学顕微鏡と、前記試料表面を斜め方向から照射する光照射部とからなる走査型プローブ顕微鏡において、前記光学顕微鏡が前記光照射部の入射光に対し暗視野部にあり、前記試料面に対する前記入射光の角度、あるいは光学顕微鏡の方向を任意に変えられることを特徴とする位置合わせ機能付き走査型プローブ顕微鏡。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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