ウェーハ切断方法およびその装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：樺澤襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996344299
Publication number (International publication number)：1998189496
Application date： Dec. 24, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】反ったウェーハでも高速に所望の品位で切断でき、かつ安価なウェーハ切断方法およびその装置を提供する。【解決手段】レーザ照射手段6からレーザ光9をウェーハ1に照射して、ウェーハ1から所望の大きさのチップを切り出す。その際に、ウェーハ1の反りを測定し、反りの測定値によって、ウェーハ1とレーザ照射手段6との距離が所望の距離になるように、レーザ照射手段6およびウェーハ1の少なくとも一方の位置を制御する。

Claim (excerpt)：

レーザ照射手段からレーザ光をウェーハに照射して、前記ウェーハから所望の大きさのチップを切り出すウェーハ切断方法において、前記ウェーハの反りを測定し、反りの測定値によって、前記ウェーハと前記レーザ照射手段との距離が所望の距離になるように、前記レーザ照射手段および前記ウェーハの少なくとも一方の位置を制御することを特徴とするウェーハ切断方法。

IPC (2)：

H01L 21/301 , B23K 26/00 320

FI (3)：

H01L 21/78 B , B23K 26/00 320 E , H01L 21/78 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-128186
レーザ加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-294198 Applicant：住友重機械工業株式会社
特開昭53-145564

Show all

Return to Previous Page