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J-GLOBAL ID：200903001480524197

結像用の電子エネルギーフィルタ

Inventor： ハラルト ローゼ ,  シュテファン ウーレマン ,  オイゲン ヴァイマー
Applicant, Patent owner： カール-ツアイス-スチフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994057386
Publication number (International publication number)：1995037536
Application date： Mar. 28, 1994
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】電子けんび鏡のための、著しく高い電子エネルギーの場合も、同じ小さい最小のエネルギー幅の下で、一層コンパクトな構成を許容する磁気式電子エネルギーフィルタを提供する。【構成】フィルタは3つのセクタ磁石1,2,3から構成され、第1のセクタ磁石1の偏向磁界は一様であり、他のセクタ磁石2,3には非一様な傾斜磁界が存在する。傾斜磁界を発生するために、セクタ磁石2,3の磁極片は截頭二重錐体の形状を有する。第1のセクタ磁石の中を電子ビームは2回通過する。セクタ磁石の前方、後方およびそれらの間に多極素子10,11,6a,6b,7a,7b,8a,8b,9を配置する。このフィルタは著しく高いエネルギーの電子に対しても、同時にコンパクトな構造の下で、大きい分散作用を有する。多極素子を用いて、2次の全部のエラーと2階の大部分の色誤差を補正する。

Claim (excerpt)：

ビーム偏向用の複数個のセクタ磁石(1,2,3)から構成されており、この場合、少なくとも1つの第1のセクタ磁石(1)が一様な偏向磁界を有し、さらに少なくとも1つの第2のセクタ磁石(2,3)が非一様の偏向磁界を有することを特徴とする、結像用の電子エネルギーフィルタ。

IPC (3)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/26 ,  H01J 49/44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• オメガフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-316917   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭61-277141
  
• 特開昭62-066553