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J-GLOBAL ID:200903001494453004

微粒子測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005001729
Publication number (International publication number):2006189337
Application date: Jan. 06, 2005
Publication date: Jul. 20, 2006
Summary:
【課題】 光ノイズによる偽計数を大幅に低減することができ、これによって微粒子検出の信頼性を向上させること。【解決手段】 光路空間21の内壁において、微粒子による散乱光を検出しない位置で、且つ半導体レーザ28からレーザ光の一部が内壁に乱反射して発生した迷光並びに周囲温度変化等の影響によってレーザ光に発生した光ノイズを受光可能な位置、この例ではシリンドリカルレンズ30の近傍に光ノイズ検出用フォトダイオード35を設置する。更に、散乱光検出用フォトダイオード32及び光ノイズ検出用フォトダイオード35を、光ノイズ判定部36に接続する。光ノイズ判定部36によって、光ノイズ検出用フォトダイオード35と散乱光検出用フォトダイオード32との双方で同時に、予め定められた閾値よりも大きいレベルの光信号が受光された際に、光ノイズが検出されていると判定する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
長手方向に沿って直線に伸びる中空部を有する筒状部材の前記中空部を光路空間とし、この光路空間の一端に出射光が長手方向の直線に沿って放射されるように光源を配設すると共に、その光源からの出射光を平行光に変換するレンズを配設し、長手方向の直線と交差するように筒状部材の光路空間を抜けて対向する側壁を貫通する通路に流体を流し、この流体に、レンズで変換された平行光を透過させ、この透過時に流体中に含まれる微粒子での散乱光を第1の受光素子で受光し、この受光に応じて第1の受光素子から出力される電気信号から微粒子の数及び大きさを演算して求める微粒子測定装置において、 前記微粒子による散乱光を検出しない位置で、且つ前記光源から出射光が乱反射した迷光並びに該出射光に発生する光ノイズを受光可能な位置に配設された第2の受光素子と、 前記第1及び第2の受光素子で同時に、予め定められた閾値よりも大きいレベルの光信号が受光された際に光ノイズの検出と判定する判定手段と を備えたことを特徴とする微粒子測定装置。
IPC (2):
G01N 15/02 ,  G01N 15/06
FI (2):
G01N15/02 A ,  G01N15/06 C
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • 微粒子検出センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-076372   Applicant:能美防災株式会社
  • 微粒子検出センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-038604   Applicant:能美防災株式会社
Cited by examiner (7)
  • 特開平3-004144
  • 特開平3-004144
  • 特開平3-004143
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