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J-GLOBAL ID：200903001761832044

エッチング液および銅表面の粗化処理方法

Inventor：
森川 佳彦

About 森川 佳彦

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千疋 一則

About 千疋 一則

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山崎 宣広

About 山崎 宣広


Applicant, Patent owner：
株式会社荏原電産

About 株式会社荏原電産


Agent (1)： 藤井 紘一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999096194
Publication number (International publication number)：2000064067
Application date： Apr. 02, 1999
Publication date： Feb. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 銅の表面に耐酸性に優れた粗面を塩素イオンの有無に関わらず短時間で形成でき、プリント回路基板の製造等において銅導電パターンと樹脂等の外層材とを強固に密着でき、また、その製造工程を簡素化できるエッチング液と、銅表面の粗面化処理方法を提供する。【解決手段】 オキソ酸としての硫酸および過酸化物としての過酸化水素を含む主剤に、5-アミノ-テトラゾール等のテトラゾールあるいは1,2,3アゾール等を含む助剤を配合してエッチング液を構成し、このエッチング液を用いて銅表面を針状に粗化するようにした。
Claim (excerpt)：
以下の化学式1により表されるオキソ酸群から選ばれた少なくとも1つの酸若しくはその誘導体、および、過酸化物群から選ばれた少なくとも1つの過酸化物若しくはその誘導体を有する主剤と、テトラゾール類から選ばれた少なくとも1つのテトラゾールを有する助剤と、を含むことを特徴とするエッチング液。【化1】ただし、化学式1中、XはS,P,N等の中心原子、Oは酸素、Hは水素、mは0以上の整数、nは1以上の整数である。
IPC (3)：
C23F 1/18 ,  H05K 3/38 ,  H05K 3/06
FI (3)：
C23F 1/18 ,  H05K 3/38 B ,  H05K 3/06 N
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
  • 銅溶解剤
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-361870   Applicant：東海電化工業株式会社, キレスト株式会社
  • 銅の化学溶解剤
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-361657   Applicant：東海電化工業株式会社
  • 特開昭51-027819
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