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J-GLOBAL ID：200903001762558280
微小ミラーの製造方法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004116987
Publication number (International publication number)：2005300913
Application date： Apr. 12, 2004
Publication date： Oct. 27, 2005
Summary：
【課題】任意の位置に容易に形成でき、かつ、形成工程における作業性がよい微小ミラーの製造方法を提供すること。【解決手段】光照射により親水性と可溶性と屈折率変化を発現する樹脂からなる樹脂層2を基板1上に形成する工程と、光透過部を有する第1のマスクパターンを用いて樹脂層2の所定位置に光を照射する工程と、樹脂層2をエッチング液に接触させて、樹脂層2の前記所定位置の感光した部分を除去して、内面に斜面を有する凹部を形成する工程と、樹脂層2を加熱する工程と、光透過部を有する第2のマスクパターンを用いて樹脂層2の凹部の内面の斜面に光を照射する工程と、樹脂層2を無電解めっき触媒液に接触させて、凹部の内面の斜面に触媒を付着させる工程と、樹脂層2を無電解めっき液に接触させて、凹部の内面の斜面に触媒の作用により金属膜7をめっきする工程を備えた微小ミラーの製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
光照射により親水性と可溶性と屈折率変化を発現する樹脂からなる樹脂層を基板上に形成する工程(a)と、
光透過部を有する第1のマスクパターンを用いて前記樹脂層の所定位置に光を照射する工程(b)と、
前記樹脂層をエッチング液に接触させて、樹脂層の前記所定位置の感光した部分を除去して、内面に斜面を有する凹部を形成する工程(c)と、
前記樹脂層を加熱する工程(d)と、
光透過部を有する第2のマスクパターンを用いて樹脂層の凹部の内面の前記斜面に光を照射する工程(e)と、
前記樹脂層を無電解めっき前処理用の無電解めっき触媒液に接触させて、前記凹部の内面の斜面に触媒を付着させる工程(f)と、
前記樹脂層を無電解めっき液に接触させて、凹部の内面の斜面に前記触媒の作用により金属膜をめっきする工程(g)を備えたことを特徴とする微小ミラーの製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (8)：
2H047KA03
, 2H047LA09
, 2H047PA02
, 2H047PA22
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA01
, 2H047QA07
