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J-GLOBAL ID：200903001836055790
非線形的復原力のバネを有するMEMS素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002050305
Publication number (International publication number)：2002326197
Application date： Feb. 26, 2002
Publication date： Nov. 12, 2002
Summary：
【要約】【課題】 非線形的復原力のバネを有するMEMS素子を提供する。【解決手段】 基板と、基板上に形成される支持要素と、支持要素により基板の上方に位置して基板上で運動をする運動要素と、上記運動要素を上記支持体に対して弾力的懸架するバネ要素と、上記基板に対する上記運動要素の相対的運動を誘発させる駆動要素と、上記駆動要素により運動要素が運動する時、これを支持する上記バネ要素が所定量弾性変形された時にバネ要素の反撥力を非線形的に増加させる反撥力変更要素とを具備する。これにより、非線形的反撥力を有するバネ要素を利用して運動要素の位置制御を行う場合に位置制御の範囲を広げられる。そして、運動要素のスティクションが生じた場合に非線形的な反撥力を有するバネにより大きな復原力が得られ、工程中に生じるスティクションを防止できる。
Claim (excerpt)：
基板と、上記基板上に形成される支持要素と、上記支持要素により上記基板の上方に位置して基板上で運動をする運動要素と、上記運動要素を上記支持体に対して弾力的懸架するバネ要素と、上記基板に対する上記運動要素の相対的運動を誘発させる駆動要素と、上記駆動要素により運動要素が運動する時、これを支持する上記バネ要素が所定量弾性変形された時にバネ要素の反撥力を非線形的に増加させる反撥力変更要素とを具備することを特徴とする非線形的復原力のバネを有するMEMS素子。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
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静電マイクロリレー
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-335725
Applicant：オムロン株式会社
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