静電マイクロリレー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998335725
Publication number (International publication number)：2000164104
Application date： Nov. 26, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】簡単な構造で、大型化を招くことなく、安価で簡単に製作できる接点開離性に優れた静電マイクロリレーを提供する。【解決手段】固定基板10又は可動基板20の少なくともいずれか一方に、可動基板20の駆動後、接点閉成前に、残る他方の基板20又は10に当接する凸部24を形成する。

Claim (excerpt)：

固定基板に支持部を介して可動基板を所定間隔で対向配設し、固定基板の固定電極と可動基板の可動電極との間に電圧を印加し、静電引力を発生させて可動基板を駆動することにより、可動基板の可動接点を固定基板の固定接点に閉成する静電マイクロリレーにおいて、前記両基板のうち、少なくともいずれか一方に凸部を形成し、可動基板の駆動後、接点閉成前に、前記凸部が残る他方の基板に当接するようにしたことを特徴とする静電マイクロリレー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

静電リレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-185282 Applicant：松下電工株式会社
静電駆動型リレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-166548 Applicant：松下電工株式会社
特開昭63-266723

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